© 1990-2020 ООО "ПЛАЗМА-ТЕХ". Сайт создан самостоятельно.

Российская Федерация,г.Москва, Смирновская улица, дом 4, стр.2. 8(495)362-05-81 www.plazmateh.ru

Блоки питания со встроенной дугозащитой

однополярных и дуальных магнетронов распыления

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-141» 

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-141» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий.

Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-141"
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-141"
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-141" с двумя выходами аналоговым управлением

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Максимальная выходная мощность, Вт.....1000~3000*

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,03÷2~0,02÷4,6*

Напряжение "поджога" разряда, В.....1180÷1280

Максимальный ток дугозащиты, А.....12~16*

Частота коммутации, кГц.....4÷40 / 6÷60*

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1300~2500*

Масса блока, кг.....14~18*

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....220В-10%~+10%, 48~62 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения

 

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-141":

ИВЭ-141-ХХ-Y-ZZZ

 

                                 Без индекса - оптоизолированный последовательный цифроаналоговый

                                       интерфейс управления

                                 S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                       управления «RS-485»

                                 SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                          управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью

                                 G - жидкостное охлаждение "ключа комутатора"

                                 D - для построения дуальных систем

 

                           00 - Uвых= -650В

                           В - Uвых= -750В

                           V - Uвых= -900В

 

                      04 - Pвых= 1000Вт (2 выхода)

                      03 - Pвых= 1000Вт

                      02 - Pвых= 1500Вт (2 выхода)

                      01 - Pвых= 1500Вт

                      00 - Pвых= 2000Вт

                       Н - Pвых= 3000Вт

Выходная вольтамперная характеристика блока питания магнетрона распыления "ИВЭ-141-01В" при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика блока питания "ИВЭ-141-01В" при максимальной мощности.

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-143» 

Основная область применения источника вторичного электропитания — в составе вакуумно- технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, очистки и травления поверхностей, требующих повторяемости конечных результатов. Блок питания «ИВЭ-143» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного распыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий.

Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-143"
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-143"
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-143"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....300÷3000

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,03÷7

Напряжение "поджога" разряда, В.....1250

Максимальный ток дугозащиты, А.....15

Частота коммутации, кГц.....1÷40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....3500

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-10%~+15%, 48~62 Гц

 

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-143":

ИВЭ-143-Y-ZZZ

 

                           Без индекса - оптоизолированный последовательный цифроаналоговый

                                 интерфейс управления

                           S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                 управления «RS-485»

                           SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                    управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью

                           G - жидкостное охлаждение "ключа комутатора"

                           D - для построения дуальных систем

 

                      00 - Uвых= -650В

                      В - Uвых= -750В

                      V - Uвых= -900В

Выходная вольтамперная характеристика блока питания "ИВЭ-143HS" при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика блока питания "ИВЭ-143HS" при максимальной мощности.

Блок питания «ИВЭ-143» представляет собой источник вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающим на частоте преобразования 45¸55кГц. Блок основан на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых сетью от общего трёхфазного помехоподавляющего сетевого фильтра и регулируемых посредством модуля управления. Регулирование и стабилизация выходных параметров осуществляется по принципу широтно-импульсной модуляции. Преобразование напряжения осуществляется посредством трёх одинаковых модулей конверторов мощностью каждый по 1кВт (в зависимости от исполнения), включающих в себя корректор коэффициента мощности и позволяющий потреблять из питающей сети почти синусоидальный ток. Максимальное выходное напряжение модулей конверторов -900В (в зависимости от исполнения), и они соединены в блоке параллельно. Выходное напряжение (цепи) блока изолировано(ы) от его корпуса. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов подключены к ней через сетевой фильтр. Выходы модулей конверторов блока выводятся через датчик тока, модуль ключа-коммутатора, модуль управления вентиляторами и поджога разряда на выходной разъём и далее посредством выходного кабеля соединяются с нагрузкой. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления, а их сопряжение с внешним интерфейсом осуществляется модулем сопряжения сигналов. Преобразование постоянного напряжения в пульсирующее однополярное напряжение с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модулей конверторов менее чем за 2мкс, выполняет модуль ключа-коммутатора. Напряжение «поджога» -1180В…-1280В (в зависимости от исполнения), необходимое для устойчивого возникновения тлеющего или магнетронного разряда, формирует модуль управления вентиляторами и поджога разряда, который кроме того регулирует количество продуваемого через блок охлаждающего воздуха в зависимости от теплового режима модулей конверторов и их нагрузки. Блок имеет 3,5-разрядные цифровые узлы индикации выходных и опорных (задаваемых) параметров: тока, напряжения, мощности, частоты и их регулирование с консоли ручного управления или от внешнего управления по интерфейсу «RS-485» (в зависимости от исполнения), а также светодиодную индикацию всех режимов работы и, соответственно, их выбор с консоли ручного управления или от интерфейса.

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-144» 

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания магнетрона распыления «ИВЭ-144» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий.

Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-144"
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-144D"
Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-144"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....200÷4500~300÷6000*

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,5÷10~0,5÷15*

Напряжение "поджога" разряда, В.....1180÷1280

Максимальный ток дугозащиты, А.....30~40*

Частота коммутации, кГц.....2÷40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....5900~7100*

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-15%~+10%, 48~62 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения

 

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-144":

ИВЭ-144-ХХ-Y-ZZZ

 

                                 Без индекса - оптоизолированный последовательный цифроаналоговый

                                       интерфейс управления

                                 S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                       управления «RS-485»

                                 SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                          управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью

                                 G - жидкостное охлаждение "ключа комутатора"

                                 D - для построения дуальных систем

 

                            00 - Uвых= -650В

                            В - Uвых= -750В

                            V - Uвых= -900В

 

                       00 - Pвых= 200÷4500Вт

                       Н - Pвых= 300÷6000Вт

Блоки питания с внешней дугозащитой

однополярных и дуальных магнетронов распыления

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-145»

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-145» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного распыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий. Блок работает совместно с блоком дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-190».

Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-145"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....600÷6000

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,5÷15

Напряжение "поджога" разряда, В.....1250

Максимальный ток дугозащиты, А.....40

Частота коммутации, кГц.....2÷40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7000

Масса блока, кг.....19

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-10%~+15%, 48~62 Гц

 

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-145":

ИВЭ-145-Y-ZZZ

 

                           Без индекса - параллельный оптоизолированный последовательный

                                 цифроаналоговый интерфейс управления

                           S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                 управления «RS-485»

                           SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                    управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью

                           D - для построения дуальных систем

 

                      00 - Uвых= -650В

                      В - Uвых= -750В

                      V - Uвых= -900В

БЛОК ПИТАНИЯ МАГНЕТРОНА РАСПЫЛЕНИЯ «ИВЭ-146» 

Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-146» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления, а также для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий. Он имеет оптоизолированный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления и работает совместно с блоком дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-190».

Блок питания магнетрона распыления "ИВЭ-146"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....300÷900~300÷11000*

Максимальное выходное напряжение, В.....-900~-650*

Выходной ток регулируемый, А.....0,5÷20~0,5÷27,5*

Напряжение "поджога" разряда, В.....1250÷1300

Максимальный ток дугозащиты, А.....60

Частота коммутации, кГц.....2÷40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....10600~16000*

Масса блока, кг.....19~25

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-15%~+10%, 48~62 Гц

* - В зависимости от вариации исполнения

 

Варианты исполнения блока питания "ИВЭ-146":

ИВЭ-146-ХХ-Y-ZZZ

 

                                 Без индекса - параллельный оптоизолированный последовательный

                                       цифроаналоговый интерфейс управления

                                 S - оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                       управления «RS-485»

                                 SA -  оптоизолированные последовательный цифровой интерфейс внешнего

                                           управления «RS-485» и аналоговый для управления мощностью

                                 D - для построения дуальных систем

 

                            00 - Uвых= -650В

                            В - Uвых= -750В

                            V - Uвых= -900В

 

                       00 - Pвых= 300÷9000Вт

                       Н - Pвых= 300÷11000Вт

Возможны разработка и изготовление блоков питания магнетрона распыления с различными

выходными характеристиками по Вашему техническому заданию.