Блоки питания тлеющего разряда,

ионного источника, ЛБВ

БЛОК ПИТАНИЯ DC-RF ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА «ИВЭ-072KL» 

      Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-072KL» двухканальный - имеет положительную полярность выходного постоянного (DC) напряжения, суммированного с высокочастотным 13,56МГц (RF) напряжением и предназначен для подачи их на «ёмкостной излучатель» при процессах очистки и нанесения покрытий.

Блок питания DC-RF тлеющего разряда «ИВЭ-072KL»
Блок питания DC-RF тлеющего разряда «ИВЭ-072KL»

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная DC-мощность регулируемая, Вт.....10÷1000

Выходное DC-напряжение регулируемое, В.....12÷1200

Выходной DC-ток регулируемый, А.....0,03÷1,15

Нестабильность выходного DC-напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного DC-тока, %, не более.....3

Нестабильность выходной DC-мощности, %, не более.....3

Частота коммутации*, кГц.....1÷40

Максимальный ток DC-дугозащиты *, А.....15

Выходная RF-мощность (АМ-FM/SSB-CW), регулируемая **, Вт.....от 10/20 до 400/800

Выходное RF-напряжение, амплитудное, В.....0,85/0,55

КПД (DC/RF), не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....2000

Масса блока, кг.....24

Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140

Напряжение однофазной питающей сети.....220В-15/+10%, 48-62Гц

* - для исполнения KLK

** - на резистивном эквиваленте нагрузки через кабель ИВЭ4.072.050

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-244HLS» 

          Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе стендового и испытательного оборудования для обеспечения электропитанием источников ионов. Блок питания «ИВЭ-244HLS» имеет гальванически изолиро- ванное выходное напряжение с положительной полярностью и предназначен для его подачи на анод «источника ионов с замкнутым дрейфом электронов» или ему подобного. Блок оснащён модулем «дугозащиты и частотной коммутации» и последовательным цифровым интерфейсом внешнего управления «RS-485».

Блок питания источника ионов "ИВЭ-244HLS"
Блок питания источника ионов "ИВЭ-244HLS"
Блок питания источника ионов "ИВЭ-244HLS"
Блок питания источника ионов "ИВЭ-244HLS"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность регулируемая, Вт*.....300÷6000

Выходное напряжение регулируемое, В*.....100÷1000

Выходной ток регулируемый, А*.....0,45÷9

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....2,5

Частота коммутации выходного напряжения, кГц.....0; 4÷40

Ток «дугозащиты» регулируемый, А.....8÷15

Напряжение «дугозащиты» регулируемое, В.....100÷200

Максимальное время срабатывания «дугозащиты», мкс.....3

Максимальная паразитная энергия «дугозащиты», мДж.....0,85

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7800

Масса блока, кг.....16,7

Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-15%\+10%, 48-62 Гц

* - В соответствии с выходными вольтамперными характеристиками.

** - На активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-244HLS" при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-244HLS" при максимальной мощности.

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-341S» 

          Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-341S» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.  Блок имеет оптоизолированный цифровой интерфейс «RS-485» внешнего управления.

Блок питания источника ионов "ИВЭ-341"
Блок питания источника ионов "ИВЭ-341" вид спереди

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....50÷1000

Выходное напряжение регулируемое, В.....300÷3000

Выходной ток регулируемый, А.....0,025÷0,5

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1200

Масса блока, кг.....12

Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-15%/+10%, 50/60 Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-341М-02SА» 

          Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-341М-02SА» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.  Блок имеет оптоизолированные интерфейсы внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» и аналоговый одноканальный для управления и контроля тока.

Блок питания источника ионов "ИВЭ-341М-02SА" вид спереди
Блок питания источника ионов "ИВЭ-341М-02SА" вид сзади
Блок питания источника ионов "ИВЭ-341М-02SА" вид спереди
Блок питания источника ионов "ИВЭ-341М-02SА" вид сзади

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность регулируемая, Вт.....5÷100

Выходное напряжение регулируемое, В.....300÷3000

Выходной ток регулируемый, А.....0,005÷0,05

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....125

Масса блока, кг.....7,5

Габаритные размеры блока, мм.....241 х 420 х 134

Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48/62 Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-343» 

          Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-343» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.

Блок питания источника ионов "ИВЭ-343"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность, Вт.....3000

Выходное напряжение регулируемое, В.....100÷3000

Выходной ток регулируемый, А.....0,2÷1,5

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....3

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....3500

Масса блока, кг.....14

Габаритные размеры блока, мм.....480 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В±10%, 50/60 Гц

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-343" при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-343" при максимальной мощности.

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-345» 

          Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для получения в межкамерном пространстве низкотемпературной плазмы. Блок питания «ИВЭ-345» имеет положительную полярность выходного напряжения и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.

Блок питания источников ионов "ИВЭ-345"
Блок питания источников ионов "ИВЭ-345"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
 

Выходная регулируемая мощность*, Вт.....300÷6000

Выходное регулируемое напряжение*, В.....+300÷+3000

Выходной регулируемый ток*, А.....0,2÷3,0

Нестабильность выходного напряжения**, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока**, %, не более.....2,5

Нестабильность выходной мощности**, %, не более.....3

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7200

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9

КПД, не менее.....0,85

Масса блока, кг.....14,8

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В±10%, 50/60 Гц

* - В соответствии с выходными вольтамперными характеристиками.

** - на активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-345" при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-345" при максимальной мощности.

Блок «ИВЭ-345М» представляет собой источник вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающим на частоте преобразования 45¸55кГц. Блок основан на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых сетью от общего трёхфазного помехоподавляющего сетевого фильтра и регулируемых посредством модуля управления. Регулирование и стабилизация выходных параметров осуществляется по принципу широтно-импульсной модуляции. Преобразование  напряжения осуществляется посредством трёх одинаковых модулей конверторов мощностью каждый по 2кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности, соединённых в блоке параллельно и позволяющие потреблять из питающей сети почти синусоидальный ток. Максимальное выходное напряжение модулей конверторов +3000В. Выходное отрицательное напряжение (цепь «-U-») блока соединено (-на) с его корпусом. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов подключены к ней через сетевой фильтра. Выходы модулей конверторов отрицательного напряжения блока выводятся через датчик тока на корпус выходного разъёма, а положительного — на модуль управления ветиляторами и балластного резистора и далее  на центральный вывод выходного разъёма (цепь «+U») и посредством выходного кабеля соединяются с нагрузкой. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления», а их сопряжение с внешним интерфейсом осуществляется модулем сопряжения сигналов. Динамическое ограничение пикового выходного тока обеспечивают балластные проволочные резисторы модуля управления ветиляторами и балластного резистора, который кроме того регулирует количество продуваемого через блок охлаждающего воздуха в зависимости от теплового режима этих резисторов и модулей конверторов при разных режимах нагрузки. Блок имеет два 3,5-разрядных семисегментных цифровых индикатора, объединённых в модуль индикации, для отображения выходных и опорных (задаваемых) параметров: тока, напряжения, мощности, частоты и их регулирование с консоли ручного управления или от внешнего управления по аналого-цифровому интерфейсу. Блок оснащён светодиодной панелью индикации для отображения всех режимов работы и, соответственно, имеет их выбор с консоли ручного управления или от внешнего аналого-цифрового интерфейса.

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ И ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-352S» 

      Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-352S» имеет два канала, предназначенных для питания стабилизированным напряжением или током технологических устройств. Первый канал имеет положительную полярность выходного напряжения, и служит для питания источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом. Второй канал имеет отрицательную полярность гальванически изолированного от корпуса блока выходного напряжения, и служит для подачи «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия или для питания магнетрона напыления.  Блок имеет интерфейс внешнего управления «RS485».

 

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
                                                                                                             1 канал / 2 канал

Выходная мощность, Вт......................................................................1000 / 1000

Выходное напряжение регулируемое, В.....................................30÷3000 / -30÷-3000

Выходной ток регулируемый, А*..................................................0,04÷0,5 / 0,04÷1,2

Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более**.....2

Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более**.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....2500

Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных

   параметров.

Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на

   потенциал до ±500В.

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9

Масса блока, кг.....19

Габаритные размеры блока, мм.....482х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ И ТЕРМОИСПАРИТЕЛЯ «ИВЭ-362S» 

          Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей.

Блок «ИВЭ-362S» предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источника ионов типа «Радикал» или аналогичного, состоящего из одной разрядно-ускоряющей ионно-оптической системы с потенциальным анодом и заземлённым выходным электродом, и питания термического испарителя. Блок имеет два стабилизированных канала с положительной полярностью выходного напряжения первого высоковольтного канала и гальванически изолированного низковольтного напряжения второго канала, оснащённых последовательным оптоизолированным цифровым интерфейсом «RS-485» внешнего управления.

Блок питания источника ионов и термоиспарителя "ИВЭ-362S"
Блок питания источника ионов и термоиспарителя "ИВЭ-362S"
Блок питания источника ионов и термоиспарителя "ИВЭ-362S"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
                                                                                                             1 канал / 2 канал

Выходная мощность регулируемая, Вт*.....................................20÷1000 / 40÷800

Выходное напряжение регулируемое, В*.....................................0÷3000 / 0,4÷8

Выходной ток регулируемый, А*..................................................0,01÷0,5 / 6÷150

Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более**.....2

Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более**.....3

Нестабильность выходной мощности обоих каналов, %, не более**.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....2200

Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных

   параметров.

Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на

   потенциал до ±1000В.

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9

Масса блока, кг.....17

Габаритные размеры блока, мм.....482х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62Гц

 * - В соответствии с выходными вольтамперными характеристиками («ВАХ»).

** - На активной нагрузке в диапазоне выходных параметров от 20% до 100%.

Выходная вольтамперная характеристика канала №1 Блока питания "ИВЭ-362S" при максимальной мощности

Выходная "ВАХ"  канала №1

Выходная вольтамперная характеристика канала №2 Блока питания "ИВЭ-362S" при максимальной мощности

Выходная "ВАХ"  канала №2

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-441» 

        Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-441» имеет два стабилизированных канала с положительной полярностью выходных напряжений и предназначен для питания стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом, а также прямонакальный нейтрализатор. Блок оснащён оптоизолированным аналого-цифровым интерфейсом внешнего управления.

Блок питания источников ионов "ИВЭ-441"
Блок питания источников ионов "ИВЭ-441"
Блок питания источников ионов "ИВЭ-441"
Блок питания источников ионов "ИВЭ-441"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

                                                                                           1 канал / 2 канал

Выходная мощность, Вт....................................................2000 / 500

Выходное напряжение регулируемое, В....................0÷4000 / 0÷80

Выходной ток регулируемый, А..............................0,02÷0,75 / 0,3÷9

Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более.....3

Нестабильность выходной мощности обоих каналов, %, не более.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....3000

Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных

   параметров.

Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на

   потенциал до ±1000В.

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,9

Масса блока, кг.....19

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62 Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ «ИВЭ-442» 
 

      Основная область применения источника вторичного электропитания – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания «ИВЭ-442» имеет два стабилизированных канала с положительной полярностью выходных напряжений и предназначен для питания стабилизированными напряжениями или токами источников ионов типа «Радикал» или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом.


            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Выходные параметры..........................................1 канал / 2 канал

Выходная мощность, Вт............................................1000 / 1000

Выходное напряжение регулируемое, В............0÷4000 / 0÷4000

Выходной ток регулируемый, мА........................40÷400 / 40÷400

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....3

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....2500

Масса блока, кг.....19

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....220В±15%10%, 48-62 Гц

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

© 1990-2020 ООО "ПЛАЗМА-ТЕХ". Сайт создан самостоятельно.

Российская Федерация,г.Москва, Смирновская улица, дом 4, стр.2. 8(495)362-05-81 www.plazmateh.ru