Высокочастотные генераторы

Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, плазменной очистки и травления в системах вакуумного напыления.

ГЕНЕРАТОР ВЧ «ИВЭ-171RFS» 

Генератор ВЧ (RF) «ИВЭ-171RFS» одноканальный - имеет выходное высокочастотное напряжения с частотой 13,56 МГц и предназначен для подачи его активную нагрузку сопротивлением 50 Ом или на «ёмкостную высокоимпедансную нагрузку» при работе совместно с устройством автоматического согласующего устройства «АСУ-171S». Генератор ВЧ имеет гальванически оптоизолированный интерфейс внешнего управления «RS-485», ориентированный для работы в составе автоматизированного оборудования.

Генератор ВЧ "ИВЭ-171RFS"
Генератор ВЧ "ИВЭ-171RFS"
Генератор ВЧ "ИВЭ-171RFS"
Генератор ВЧ "ИВЭ-171RFS"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
 

Выходная активная ВЧ(RF)-мощность, регулируемая*, Вт.....от 30 до 600

Выходное амплитудное ВЧ(RF)-напряжение, регулируемое*, В.....от 10 до 250

Нестабильность выходной ВЧ(RF)-мощности, %, не более.....3                                        

Нестабильность выходного ВЧ(RF)-напряжения, %, не более.....2

Частота выходного напряжения, МГц.....13,56

Максимальное амплитудное напряжение RF-защиты, В.....280

Максимальный амплитудный ток RF-дугозащиты, А.....6

Предел выходной реактивной амплитудной RF-мощности, ВА.....1680

КПД (РDC/РАС // РВЧ/РDC // РВЧ/ РАС), не менее.....0,85//0,55//0,467

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1300

Напряжение питающей сети.....220В -15% +10%, 48~62 Гц

Масса, кг.....15

Габаритные размеры, мм.....224 х 133 х 417

* на резистивном эквиваленте нагрузки сопротивлением 50 Ом через кабель ИВЭ4.171.030

Генератор ВЧ «ИВЭ-171RFS» представляет собой источник вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающий на частотах преобразования 45¸55кГц и 13,56МГц. Блок основан на двух сборках транзисторных конверторных модулей, питаемых: первый -переменным сетевым напряжением от однофазного помехоподавляющего сетевого фильтра, второй - постоянным регулируемым силовым внутриблочным напряжением, получаемым от первого модуля. Оба управляются посредством модуля управления и сопряжения сигналов. Таким образом, преобразование сетевого питающего напряжения в выходное высокочастотное осуществляется последовательно в два этапа посредством двух модулей: первого модуля конвертора и второго модуля усилителя мощности высокой частоты. От выходного управляемого постоянного напряжения 0В÷+60В первого низковольтного модуля конвертора, мощностью 1,2кВт, питается модуль усилителя мощности высокой частоты. Его выходное RF-напряжение с амплитудой 0В÷280В и реактивной мощностью до 1680ВА, поступает на выходной разъём генератора ВЧ. Для потребления от питающей сети почти синусоидального тока, модуль конвертора схемотехнически и функционально осуществляет коррекцию коэффициента мощности. Формирование всех алгоритмов работы, обработка и формирование сигналов управления сигналов данных осуществляется в модуле управления и сопряжения сигналов. RF-напряжение с частотой 13,56МГц формируется в модуле усилителя мощности высокой частоты, имеющий в своём составе кварцевый задающий генератор. Затем оно поступает на предварительный RF-усилитель, и далее на оконечный RF-усилитель мощности, расположенные в этом же модуле. С выхода оконечного RF-усилителя мощности RF-напряжение поступает на вход узла «RF-измерений», также находящийся в модуле усилителя мощности высокой частоты, и с его выхода на выходной разъём блока. Модуль усилителя мощности высокой частоты при работе на номинальную резистивную нагрузку 50 Ом обеспечивает в ней активную мощность в максимуме 600Вт.

Кроме того, в модуле усилителя мощности высокой частоты имеется узел термозащиты, обеспечивающий отключение RF- напряжения при перегреве силовых RF-транзисторов или защитно-ограничительных цепей вследствие работы на несогласованных режимах (нагрузках) или при работе с температурой окружающего воздуха более +35°С. Преобразованные в узле «RF-измерений» по виду и уровню сигналы выходных RF-напряжения, RF-тока и активной RF-мощности генератора ВЧ поступают для дальнейшей обработки в модуль управления и сопряжения сигналов и в узел защиты ВЧ. Узел защиты ВЧ вычисляет реактивную выходную RF-мощность, коэффициент отношения активной к реактивной RF-мощности и вырабатывает сигналы запрета работы оконечного RF-усилителя мощности при превышении заданных уровней выходных амплитудных RF-напряжения и RF-тока, тем самым обеспечивая его защиту. Генератор ВЧ имеет 3,5-разрядную цифровую индикацию выходных и задаваемых параметров: мощности, напряжения, тока, и их регулирование с передней панели блока, а также светодиодную индикацию всех режимов работы и, соответственно, их выбор с помощью кнопок, расположенных на передней панели блока. Эти элементы индикации и управления конструктивно образуют модуль индикации и регулирования. Генератор ВЧ оснащен узлом управления вентиляторами, который поддерживает постоянный тепловой режим модуля конвертора, модуля усилителя мощности высокой частоты и увеличивает ресурс работы вентилятора. В генераторе ВЧ имеются модули дежурного и сервисного питания, вырабатывающие соответственно дежурные напряжения ±5В, необходимые для работы сетевого фильтра и модуля управления и сопряжения сигналов, и сервисное напряжение +24В, которое необходимо для питания узла управления вентиляторами и модуля усилителя мощности высокой частоты.

Согласование выходного импеданса модуля усилителя мощности высокой частоты с импедансом нагрузки осуществляется автоматическим устройством согласования «АСУ-171S», способным работать как в автоматическом режиме согласования, так и в режиме ручного управления от пульта ручного управления.

Возможны разработка и изготовление высокочастотного генератора с различными выходными характеристиками по Вашему техническому заданию.

АВТОМАТИЧЕСКОЕ СОГЛАСУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО «АСУ-171S» 

Автоматическое согласующее устройство «АСУ-171S» представляет перестраиваемую, посред-ством двух переменных вакуумных ВЧ-конденсаторов, Т-образную «CCL-цепь», позволяющую согласовать импеданс нагрузки с выходным импедансом генератора ВЧ. Пришедшее от генератора ВЧ RF-напряжение на разъём «ВХОД RF», проходя через установленный в АСУ измеритель «ВЧ-сигнала», поступает на согласующую «CCL-цепь» и преобразованное по уровню выводится на выходное коаксиальное соединение «ВЫХОД RF». На него же, пройдя через узел смесителя, поступает и постоянное напряжение, подаваемое на входной разъём «ВХОД DC», максимальное значение которого не должно превышать 1000В, а его ток не более 2А. Переменные конденсаторы имеют электропривод, управляемый посредством модуля управления и сопряжения, который на основе заложенного в него алгоритма работы и, получая сигналы о величинах амплитудных RF-напряжения, RF-тока и активной RF-мощности от измерителя «ВЧ-сигнала», вырабатывает команды для электропривода таким образом, чтобы «приведённый» ко входу АСУ импеданс нагрузки приближался к 50 Ом, а удвоенное значение отношения эффективной активной RF-мощности к реактивной RF-мощности  стремилось к единице.

Автоматическое согласующее устройство «АСУ-171S»
Автоматическое согласующее устройство «АСУ-171S»
Автоматическое согласующее устройство «АСУ-171S»
Автоматическое согласующее устройство «АСУ-171S»

Модуль управления и сопряжения, помимо формирования силовых управляющих сигналов для электропривода переменных ВЧ-конденсаторов, обеспечивает усиление и преобразование сигналов о величинах амплитудных RF-напряжения, RF-тока и активной RF-мощности от измерителя «ВЧ-сигнала». Обработав их, он выводит отношения  амплитудных RF-напряжения к RF-току и эффективной активной RF-мощности к реактивной RF-мощности в аналоговом виде на разъём «КОНТРОЛЬ» и в виде последовательного цифрового кода на разъём «RS-485» интерфейса внешнего управления. Кроме того, модуль управления и сопряжения обеспечивает преобразование и сопряжение сигналов управления и режимов АСУ от интерфейса «RS-485» и пульта ручного управления, а также преобразование сетевого питающего напряжения в постоянные напряжения ±24В для питания электропривода переменных ВЧ-конденсаторов.

© 1990-2020 ООО "ПЛАЗМА-ТЕХ". Сайт создан самостоятельно.

Российская Федерация,г.Москва, Смирновская улица, дом 4, стр.2. 8(495)362-05-81 www.plazmateh.ru