Блоки питания потенциала смещения

и очистки тлеющим разрядом

БИПОЛЯРНЫЙ ИМПУЛЬСНЫЙ БЛОК ПИТАНИЯ «ИВЭ-232BWS/295B»

      Основная область применения – в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки поверхностей. Блок питания биполярный импульсный «ИВЭ-232BWS/295B» предназначен для подачи стабилизированного импульсного напряжения «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия или на «HIPIMS» магнетрон распыления в вакуумной камере. Блок имеет два независимых по управлению канала с отрицательной и положительной полярностью выходных напряжений с гальванически изолированными выходами объединённых по полумостовой схеме в один выход с биполярным напряжением. Блок оснащён оптоизолированными последовательными цифровыми интерфейсами «RS-485» внешнего управления и конструктивно выполнен в виде двух частей: двухканального блока питания «ИВЭ-232BWS» и полумостового блока дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-295В».

Блок питания биполярный импульсный «ИВЭ-232BWS/295B»
Двухканальный блок питания «ИВЭ-232BWS» вид спереди
двухканальный блок питания «ИВЭ-232BWS» вид сзади
Полумостовой блок дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-295В» вид спереди

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
                                                                                                             1 канал / 2 канал

Выходная максимальная мощность, Вт*..........................................1000 / 1000

Выходное напряжение регулируемое, В*.................................-85÷-1700 / 25÷500

Выходной регулируемый средний ток , А*...............................0,04÷0,88 / 0,15÷3,00

Нестабильность выходного напряжения обоих каналов, %, не более**.....1,5

Нестабильность выходного тока обоих каналов, %, не более**.....2,5

Выходной максимальный импульсный ток обоих каналов, А.....350

Длительность импульсов обоих каналов, регулируемая, мкс.....от 5 до 2000

Длительность паузы между импульсами каналов, регулируемая, мкс.....от 2 до 100

Частота выходных импульсов, Гц.....от 1 до 1000

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,96

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....3600

Интерфейс ручного управления: кнопочный, с тумблером и осевыми регуляторами выходных

   параметров.

Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485» с оптоизоляцией на

   потенциал до ±1000В.

Масса блока, кг.....42,3

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 330

Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62Гц

* - В пределах выходной ВАХ.

** - В диапазоне изменения нагрузки от 20% до 100%.

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-232BWS/295В" каналов №1 и №2 при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-232BWS/295В" каналов №1 и №2 при максимальной мощности.

БЛОК ПИТАНИЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-241S» 

      Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-241S» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий, а также для питания стабилизированным напряжением или током магнетронов распыления. Блок имеет цифровой оптоизолированный интерфейс внешнего управления «RS-485».

Блок питания потенциала смещения "ИВЭ-241"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность регулируемая, Вт*.....20÷1000

Выходное напряжение регулируемое, В.....-30÷-1350

Выходной ток регулируемый, А*.....0,025÷1,3

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....2

Частота коммутации, кГц.....2-60

Максимальный пиковый ток дугозащиты регулируемый ступенчато, А.....от 2 до 7

Уровень порога напряжения дугозащиты регулируемый ступенчато, В.....от -4 до -95

КПД, не менее.....0,83

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....1250

Масса блока, кг.....13

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....220В-15%/+10%, 48-62Гц

* - В пределах выходной ВАХ.

** - В диапазоне изменения нагрузки от 20% до 100%.

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-241" при максимальной мощности

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-241S" при максимальной мощности.

БЛОК ПИТАНИЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-243» 

      Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-243» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий, а также для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного распыления. Блок имеет оптоизолированный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления.

Блок питания потенциала смещения "ИВЭ-243"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность, Вт.....200÷3000

Выходное напряжение регулируемое, В.....-30÷-1350

Выходной ток регулируемый, А.....0,25÷3,5

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

Частота коммутации, кГц.....2-40

Максимальный пиковый ток дугозащиты, А.....8

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....3600

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей трёхфазной сети.....380В-15%/+10%, 48-62Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-245MS»

     Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-245МS» имеет гальванически изолированное выходное напряжение с отрицательной полярностью и предназначен для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий, а также для питания стабилизированным напряжением или током магнетронов распыления.

             Блок питания имеет три режима работы:

«режим работы 1» с выходным напряжением -600В;

«режим работы 2» с выходным напряжением -1200В;

«режим работы 3» с выходным напряжением -200В.

Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-245MS»

   Блок допускает переполюсовку выходного напряжения при работе в «режимах 1, 2 и 3» при условии не превышения потенциала выходных цепей относительно корпуса блока более ±1500В. Блок оснащён  модулем «дугозащиты и частотной коммутации» и последовательным цифровым интерфейсом внешнего управления «RS-485».

Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-245MS»

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

            Режим №1

Выходная регулируемая мощность, Вт.....300÷6000

Выходное регулируемое напряжение, В.....-60÷-600

Выходной регулируемый ток, А....1÷15

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2,5

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3

Частота коммутации выходного напряжения, кГц.....0; 4÷40

Максимальный ток «дугозащиты», А.....30

Регулируемое напряжение «дугозащиты», В.....9÷90

Максимальное время «дугозащиты», мкс.....2

Максимальная паразитная энергия «дугозащиты», мДж.....18

            Режим №2

Выходная регулируемая мощность, Вт.....300÷6000

Выходное регулируемое напряжение, В.....-120÷-1200

Выходной регулируемый ток, А.....0,25÷7,5

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....3,5

Частота коммутации выходного напряжения, кГц.....0; 4÷40

Максимальный ток «дугозащиты», А.....20

Регулируемое напряжение «дугозащиты», В.....9÷90

Максимальное время «дугозащиты», мкс.....3

Максимальная паразитная энергия «дугозащиты», мДж.....24

            Режим №3

Выходная регулируемая мощность, Вт.....300÷6000

Выходное регулируемое напряжение, В.....-20÷-200

Выходной регулируемый ток, А.....1÷40

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....2

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....2,5

Частота коммутации выходного напряжения, кГц.....0; 4÷40

Максимальный ток «дугозащиты», А.....45

Максимальное время «дугозащиты», мкс.....1,5

Максимальная паразитная энергия «дугозащиты», мДж.....9

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....7800

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей трёхфазной сети.....380В-15%/+10%, 48-62Гц

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-245MS" в режимах №1 и №2

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-245MS" в режимах №1 и №2.

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-245MS" в режиме №3

Выходная вольтамперная характеристика "ИВЭ-245MS" в режиме №3.

Блок «ИВЭ-245МS» представляет собой источник вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающим на частоте преобразования 45¸55кГц. Он основан на сборках транзисторных конверторных ячеек, питаемых сетью от общего трёхфазного помехоподавляющего сетевого фильтра, регулируемых посредством модуля управления. Преобразование  напряжения осуществляется посредством трех одинаковых модулей конверторов, мощностью каждый по 2кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности. Модули конверторов, имеющие шесть выходов по 200В, соединены в блоке параллельно. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов подключены к ней через модуль сетевого ВЧ фильтра. Выходы модулей конверторов блока выводятся на модуль управления вентиляторами и коммутации, переключающий режимы работы 1, 2, 3 и далее на модуль ключа-коммутатора, а затем через датчик тока на выходной разъём, с которого посредством выходного кабеля выходное напряжение подаётся в нагрузку. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления, а их сопряжение с внешним интерфейсом осуществляется модулем сопряжения сигналов. Блок оснащен модулем управления вентиляторами и коммутации, который поддерживает постоянный тепловой режим модулей конверторов и увеличивает ресурс работы вентиляторов, а также осуществляет переключение «режимов работы» блока в №1 – «средневольтовый», в №2 – «высоковольтный», и в №3 – «низковольтный» посредством последовательно-параллельной коммутации шести выходов модулей конверторов получает три уровня выходного напряжения: -600В/-1200В/-200В. Преобразование постоянного напряжения -600В/-1200В/-200В в пульсирующее однополярное напряжение с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модулей конверторов менее чем за 3 мкс, выполняет модуль ключа-коммутатора. Блок имеет 3,5-разрядные цифровые узлы индикации выходных и опорных (задаваемых) параметров: тока, напряжения, мощности, частоты и их регулирование с консоли ручного управления или от внешнего управления по аналого-цифровому интерфейсу, а также светодиодную индикацию всех режимов работы и, соответственно, их выбор с консоли ручного управления или от интерфейса.

БЛОК ПИТАНИЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-247S» 

      Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-247S» имеет отрицательную полярность выходного напряжения и предназначен для подачи «потенциала смещения» и питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного распыления. Блок может комплектоваться интерфейсом внешнего управления «RS-485».

 

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Выходная мощность, кВт.....0,8÷18

Выходное напряжение регулируемое, В.....-100÷-1350

Выходной ток регулируемый, А.....0,8÷20

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....3

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

Частота коммутации, кГц.....2-40

Максимальный ток дугозащиты, А.....40

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, кВт.....24

Масса блока, кг.....68

Габаритные размеры блока, мм.....284 х 860 х 400

Напряжение питающей трёхфазной сети.....380В-15%/+10%, 48-62 Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ОЧИСТКИ ТЛЕЮЩИМ РАЗРЯДОМ И ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-263» 
 

      Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. Блок питания «ИВЭ-263» имеет гальванически изолированное выходное напряжение с отрицательной полярностью и предназначен для подачи «потенциала смещения» на карусель с изделиями при процессах очистки и нанесения покрытий, а также для питания стабилизированным напряжением или током источников магнетронного напыления. Блок питания имеет три режима работы: «режим работы 1» с выходным напряжением 600В; «режим работы 2» с выходным напряжением 1200В; «режим работы 3» с выходным напряжением 200В. Блок допускает переполюсовку выходного напряжения при работе в «режимах 1 и 3». Блок может комплектоваться интерфейсом внешнего управления «RS-485». 

Блок питания очистки тлеющим разрядом и потенциала смещения "ИВЭ-263"

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
                                                                                  Режим работы 1     Режим работы 2     Режим работы 3

Выходная мощность, Вт......................................200÷3000                  200÷3000                  200÷3000

Выходное напряжение регулируемое, В..........-60÷-600                  -120÷-1200                -20÷-200

Выходной ток регулируемый, А.........................0,7÷8                              0,2÷4                         0,7÷20

Максимальный ток дугозащиты, А.....................28                              20                                38

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....2

Нестабильность выходного тока, %, не более.....3

Частота коммутации, кГц.....1-40

КПД, не менее.....0,85

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....3500

Масса блока, кг.....18

Габаритные размеры блока, мм.....482 х 415 х 140

Напряжение питающей сети.....380В-15%\+10%, 48-62Гц

БЛОК ПИТАНИЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ «ИВЭ-477S» 
 

        Функциональное назначение «ИВЭ-477S» состоит в выполнении всех задач по управлению и отображению информации о режимах и параметрах системы питания потенциала смещения, а также для формирования управляющих сигналов для блока силового и блоков дугозащиты и частотной коммутации. Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляются в модуле управления. Информация о режимах работы блока выводится визуально платой светодиодной индикации и регулирования, а выходных и входных параметрах на модули индикации, расположенных на передней панели блока и выводится посредством модуля сопряжения сигналов в цифровом последовательном коде интерфейса «RS-485» на разъемы «Внешнее управление», выходящие на заднюю панель. Модуль сопряжения сигналов осуществляет преобразование и гальваническую развязку управляющих и информационных сигналов, идущих от блока к управляюще-регистрирующему устройству и обратно, используя гальванически оптоизолированный интерфейс «RS-485», а также их сопряжение и передачу в модуль управления. Кроме того, модуль сопряжения сигналов коммутирует управляющие и информационные сигналы, идущие от органов ручного управления. Первые, расположенные слева модуля сопряжения сигналов и модуля управления, принадлежат первому каналу и управляют блоком силовым и блоком дугозащиты первого канала. Вторые, расположенные справа модуля сопряжения сигналов и модуля управления, принадлежат второму каналу и управляют расположенными в нём же модулем сетевого фильтра, модулем конвертора и блоком дугозащиты второго канала. Модуль сервисного питания, установленный в блоке, обеспечивает все внутренние модули необходимыми дежурными и сервисными напряжениями, а том числе напряжением +5В поступающим в блок силовой и сетевым напряжением ≈220В, поступающим в два блока дугозащиты. Модуль формирования импульсов и управления вентиляторами управляет вентилятором охлаждения и формирует управляющие импульсные сигналы заданной длительности для открытия модулей ключа-коммутатора в блоке дугозащиты с обеспечением при реальной возможности равенства положительного и отрицательного токов, и поддержания скважности управляющих сигналов в диапазоне от 0,3 до 0,7.

Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-477S»
Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-477S»
Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-477S»
Блок питания потенциала смещения «ИВЭ-477S»
 
 
 
 
 
 
 

© 1990-2020 ООО "ПЛАЗМА-ТЕХ". Сайт создан самостоятельно.

Российская Федерация,г.Москва, Смирновская улица, дом 4, стр.2. 8(495)362-05-81 www.plazmateh.ru

Блок питания потенциала смещения "ИВЭ-243"