Магнетроны распыления

МАГНЕТРОН РАСПЫЛЕНИЯ ПЛАНАРНЫЙ МП-420

Магнетрон предназначен для получения на поверхности изделий тонких покрытий различных электропроводящих материалов, в том числе покрытий на основе металлов и их оксидов, нитридов и карбидов, путем ионного распыления мишени магнетрона, как в среде чистого аргона, так и в смеси с реактивными газами. 

Принцип работы магнетрона заключается в распылении мишени ионами, поступающими из газового разряда постоянного и(или) импульсного токов в скрещенных электрическом и магнитном полях, создаваемых над поверхностью мишени и ускоренными в сторону мишени.

Непрерывность газового разряда обеспечивается ионизационным действием электронов плазмы, дрейфующими вдоль замкнутого трека вдоль длинной оси магнетрона, удерживаемого на поверхности мишени (катода) магнитным полем арочной конфигурации.

Магнетрон распыления планарный МП-420

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Мощность разряда, до, кВт.....12

Ток разряда, до, А.....20

Напряжение разряда, В.....350~900

Электрическая прочность, мах, В.....2000

Рабочее давление газов, Па.....0,03~0,3

Рабочие газы.....Ar, Ar+N2, Ar+O2, Ar+СO

Материал мишени.....Ti, Cu, Al, сплавы, Si

Габариты мишени, мм.....400 х 120 х 6~8

Длина зоны нанесения покрытия, мм.....380

Изменение степени разбалансирования магнитного поля посредством установки до трёх пластин

Материал магнитной системы.....NdFeB N48H

МАГНЕТРОН РАСПЫЛЕНИЯ ПЛАНАРНЫЙ КРУГЛЫЙ КОСВЕННОГО ОХЛАЖДЕНИЯ МРПК-100КО

Магнетрон предназначен для получения на поверхности изделий тонких покрытий различных электропроводящих и диэлектрических материалов, в том числе покрытий на основе металлов и их оксидов, нитридов и карбидов, путем ионного распыления катода-мишени, как в среде чистого аргона, так и в смеси с реактивными газами.

Магнетрон рассчитан на размещение внутри рабочей камеры технологических вакуумных установок типа «VSM 100» или аналогичных имеющих установочные фланцы с Ду=25,4мм. Магнетрон имеет изолированный от его штанги-держателя быстросъёмный анод. Два магнетрона могут образовывать дуальную распылительную систему.

Магнетрон распыления планарный круглый косвенного охлаждения МРПК-100КО
Магнетрон распыления планарный круглый косвенного охлаждения МРПК-100КО

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Мощность разряда, до, кВт.....0,05~2,25

Ток разряда, до, А.....0,1~5

Напряжение разряда, В.....350~650

Электрическая прочность, мах, В.....2500

Рабочее давление газов, Па.....0,08~10

Рабочие газы.....Ar, Ar+N2, Ar+O2, Ar+СO

Материал мишени.....Ni, Fe, сплавы типа 79НМ, 80НХС, 82НМП, 50НХС

Габариты мишени, мм.....d100 х 3~7

Диаметр зоны нанесения покрытия на расстоянии 100мм от катода-мишени, мм.....100

Материал магнитной системы.....NdFeB N48H

МАГНЕТРОН РАСПЫЛЕНИЯ ПЛАНАРНЫЙ КРУГЛЫЙ НЕПОСРЕДСТВЕННОГО ОХЛАЖДЕНИЯ МРПК-100НО

Магнетрон предназначен для получения на поверхности изделий тонких покрытий различных электропроводящих и диэлектрических материалов, в том числе покрытий на основе металлов и их оксидов, нитридов и карбидов, путем ионного распыления катода-мишени, как в среде чистого аргона, так и в смеси с реактивными газами.

Магнетрон рассчитан на размещение внутри рабочей камеры технологических вакуумных установок типа «VSM 100» или аналогичных имеющих установочные фланцы с Ду=25,4мм. Магнетрон имеет изолированный от его штанги-держателя быстросъёмный анод. Два магнетрона могут образовывать дуальную распылительную систему.

Магнетрон распыления планарный круглый непосредственного охлаждения МРПК-100НО
Магнетрон распыления планарный круглый непосредственного охлаждения МРПК-100НО

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Мощность разряда, до, кВт.....0,05~9

Ток разряда, до, А.....0,1~15

Напряжение разряда, В.....350~900

Электрическая прочность, мах, В.....2500

Рабочее давление газов, Па.....0,08~10

Рабочие газы.....Ar, Ar+N2, Ar+O2, Ar+СO

Материал мишени.....Ti, Cu, Al, V, Sn, сплавы...

Габариты мишени, мм.....d100 х 7~10

Диаметр зоны нанесения покрытия на расстоянии 100мм от катода-мишени, мм.....100

Материал магнитной системы.....NdFeB N48H