© 1990-2020 ООО "ПЛАЗМА-ТЕХ". Сайт создан самостоятельно.

Российская Федерация,г.Москва, Смирновская улица, дом 4, стр.2. 8(495)362-05-81 www.plazmateh.ru

Системы питания источников ионов

Система питания "ИВЭ-578"

источника ионов "Кауфман"

    Основная область применения - в составе вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Система питания «ИВЭ-578» восьмиканальная, имеющая гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающая их «переполюсовку». Система предназначена для питания стабилизированным напряжением или током четырёх магнетронов распыления в однополярном режиме или двух «дуальных» при синхронной встречно-параллельной парной работе входящих в неё четырёх каналов и подачи с пятого и шестого каналов двухполярного «потенциала смещения» на обрабатываемые изделия при процессах очистки и нанесения покрытий. Седьмой и восьмой каналы системы предназначены для питания стабилизированным напряжением или током двух источников ионов типа «Радикал». Система имеет интерфейс внешнего управления «RS-485».

Система питания "ИВЭ-578" источника ионов "Кауфман"
Система питания "ИВЭ-578" источникаионов "Кауфман"

Система питания "ИВЭ-678S"

источника ионов "Кауфман"

Основная область применения - в составе стендового испытательного вакуумно-технологического оборудования для обеспечения электропитания разрядных цепей электрореактивного плазменно-ионного двигателя Кауфмана («Двигатель»). Система питания «ИВЭ-678S» восьмиканальная, имеющая каналы с гальванически изолированными выходными цепями высоковольтного и низковольтного питания электродов «Двигателя»:

 

Первый канал питания постоянным напряжением эмиссионного электрода с активной «дугозащитой» и выходной высокопотенциальной положительной цепью;

 

Второй канал питания постоянным напряжением анода газоразрядной камеры («ГРК») с выходными высокопотенциальными цепями;

 

Третий канал питания постоянным или переменным напряжением резистивного нагревателя (накала) катода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;

 

Четвёртый канал питания постоянным или импульс-ным напряжением поджигного электрода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;

 

Пятый канал питания постоянным напряжением электромагнита «ГРК» с выходными высоко-потенциальными цепями;

 

Шестой канал питания постоянным напряжением ускоряющего электрода с пассивной «дугозащитой» и выходной высокопотенциальной отрицательной цепью;

 

Седьмой канал питания постоянным или переменным напряжением резистивного нагревателя (накала) нейтрализатора с выходными низкопотенциальными цепями;

 

Восьмой канал питания постоянным или импульсным напряжением поджигного электрода нейтрализатора с выходными низкопотенциальными цепями;

 

Система питания предназначена для подачи питания со стабилизированным и регулируемым напряжением, током или мощностью вышепоименованных цепей «Двигателя» при его работе с обеспечением наличия положительного напряжения до 6,5кВ на высокопотенциальных выходных цепях первых пяти каналов относительно корпуса и других выходных низкопотенциальных цепей, а также защиты низкопотенциальной отрицательной выходной цепи первого канала от превышения её уровня более чем на ±350В относительно корпуса. Система питания имеет оптоизолированный последовательный цифровой интерфейс внешнего управления «RS-485».

Система питания "ИВЭ-678S" источника ионов "Кауфман"

Система «ИВЭ-678S» представляет собой набор источников вторичного электропитания с бестрансформаторным сетевым входом, работающих на частоте преобразования 35¸50кГц. Система основана на сборках транзисторных конверторных модулей, питаемых от трёхфазной четырёхпроводной сети 380В/50Гц, и регулируемых посредством восьми модулей управления. Преобразование сетевого трёхфазного переменного напряжения в первом канале осуществляется посредством 36-ти одинаковых модулей конверторов, мощностью каждый по 1,25кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности и расположенных в силовых блоках питания «ИВЭ-576». Преобразование сетевого трёхфазного переменного напряжения во втором канале осуществляется посредством 3-х одинаковых модулей конверторов, мощностью каждый по 1,33кВт, включающих в себя корректор коэффициента мощности и расположенных в блоке питания «ИВЭ-046МS». Питание остальных каналов системы осуществляется от той же сети, но с поочерёдным подключением их к питающим фазам относительно нейтрали сети. Таким образом однофазное переменное напряжение 220В/50Гц, поступая на блоки питания 3÷8 каналов, сначала преобразуется в них с помощью трёх модулей корректора мощности в стабилизированное постоянное 400В, а лишь потом оно поступает на входы шести разных модулей конверторов, расположенных по два в блоках «ИВЭ-050МS», «ИВЭ-060МS», «ИВЭ-132МS». Максимальное выходное напряжение модулей конверторов первого канала +5400В и все они соединены по выходу параллельно. Во втором канале максимальное выходное напряжение модулей конверторов 50В, и их выхода также соединены параллельно. Для уменьшения электромагнитных помех, передаваемых в питающую сеть, модули конверторов в первых двух каналах системы питания подключены к ней через модули трёхфазного сетевого ВЧ фильтра в суммарном количестве 7шт., а в остальных каналах модули корректора мощности подключены к питающей сети через три модуля однофазного сетевого ВЧ фильтра.

Формирование алгоритмов и обработка сигналов управления осуществляется в модуле управления.

В первом канале передачу постоянного напряжения с выхода модулей конвертора с одновременной быстродействующей защитой, разрывающей цепь питания нагрузки от модуля конвертора, выполняют два модуля ключа-коммутатора, соединённые последовательно и расположенные в блоке дугозащиты «ИВЭ-696». Во втором канале постоянное напряжение с выходов модулей конвертора передаётся в нагрузку через дроссель, а в остальных каналах – через балластные резисторы, установленные в модулях управления вентиляторами и балластного резистора.

 

Координацией работы системой питания между ручным и внешним управлением, а также преобразованием уровней и кодов сигналов и команд в ней по каждому из каналов занимаются восемь модулей сопряжения сигналов, расположенные по одному в «ИВЭ-677S» и «ИВЭ-064МS», и по два в «ИВЭ-050МS», «ИВЭ-060МS», «ИВЭ-132МS».

 

Система питания имеет восемь, по одному на канал, модулей индикации со светодиодной семисегментной 3,5-разрядной цифровой индикацией выходных и «задаваемых-опорных» параметров: напряжения, тока, мощности, частоты «микродуг», а также восемь плат светодиодной индикации и регулирования всех режимов работы и, соответственно, их выбор. Модули индикации расположены на передних панелях блока управления и остальных блоков питания. Выбор режимов работы и регулирование выходных параметров осуществляется посредством тумблеров, кнопок и осевых регуляторов, также расположенных на передних панелях блока управления и остальных блоков питания.

 

Необходимые вспомогательные (внутренние сервисные) напряжения +5V, -5V для работы каналов системы формируют пять узлов дежурного питания, расположенных в по одному в модуле сервисного питания блока управления первого канала и на кросс-платах блоков питания остальных каналов. Основные сервисные напряжения +5VA, +15VA, -15VA формируются после включения каналов системы питания «по сети» в модуль сервисного питания для первого канала, в модуле управления для второго канала и в модули корректора мощности для остальных каналов.

 

Подключение в работу силовых блоков первого канала системы питания по «уровню задаваемой выходной мощности» с шагом в 6кВт осуществляется в блоке управления посредством модулей сопряжения сигналов и модулей сервисного питания.

 

Схемотехнически и конструктивно первый канал системы питания выделен в отдельную подсистему питания, состоящую из одного блока управления, шести силовых блоков, одного блока дугозащиты; второй канал – из блока питания «ИВЭ-064МS»; третий и четвёртый каналы – из блока питания «ИВЭ-050МS»; пятый и шестой каналы – из блока «ИВЭ-132МS»; седьмой и восьмой каналы – из блока «ИВЭ-060МS». Каналы системы питания представляют собой независимые самостоятельные изделия, расположенные все в силовом шкафу «ШТК-М-19ʺ-42U», и способные работать как отдельно друг от друга на независимые нагрузки, так и совместно на «Двигатель» от единого управляющего устройства по внешнему управлению или от ручного управления.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЕРВОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ ЭМИССИОННОГО ЭЛЕКТРОДА

 

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, кВт.....от 1,5 до 45

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В.....от 0,5 до 5,5

Выходной средний стабилизированный регулируемый средний ток, А.....от 0,5 до 12

Нестабильность выходного напряжения, %, не более.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более.....±2,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более.....±2,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением силовых блоков.....есть

Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным временем

   её срабатывания, мкс.....2,5

Минимальное пороговое напряжение «дугозащиты» регулируемое, В.....от 150 до 900

Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите по току», мс.....3

Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите по напряжению», мкс.....120

Максимальный регулируемый пиковый ток «дугозащиты», А.....от 12 до 25

Паразитная энергия «дугогашения», мДж, не более.....170

Выдача и получение сигнала «дугозащиты» к и от шестого канала.....есть

Ступенчатое подключение/отключение силовых блоков с шагом в 6кВт.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....53

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ АНОДА «ГРК»

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, кВт*.....от 0,2 до 4

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 5 до 50

Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 2 до 120

Нестабильность выходного напряжения, %, не более** ..... ±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**..... ±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....   ±3,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**..... ±3,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....4,6

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ

НАКАЛА АНОДА «ГРК»

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, кВт*.....от 0,05 до 1

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 5 до 50

Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 1 до 30

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Виды выходного напряжения.....постоянное и переменное в форме меандра с частотой 20кГц

Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ЧЕТВЁРТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ

ПОДЖИГНОГО ЭЛЕКТРОДА «ГРК»

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 15 до 300

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 30 до 300

Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,03 до 6

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Виды выходного напряжения.....постоянное и импульсное с длительностью импульса 90÷120мкс и

   частотой 80÷110Гц

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....350

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ

ЭЛЕКТРОМАГНИТА «ГРК»

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 25 до 500

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 7 до 70

Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,5 до 10

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....580

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ШЕСТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ

УСКОРЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 15 до 300

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, кВ*.....от -0,1 до -1

Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 0,02 до 0,45

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Пассивная «дугозащита» при изменении импеданса нагрузки.....есть

Максимальный пиковый ток «дугозащиты», А.....1

Время выключенного выходного напряжения при «дугозащите», мс.....1÷2

Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....250

Выдача и получение сигнала дугозащиты к и от первого канала.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....350

 

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СЕДЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ

НАКАЛА НЕЙТРАЛИЗАТОРА

Выходная средняя стабилизированная регулируемая мощность, Вт*.....от 40 до 800

Выходное среднее стабилизированное регулируемое напряжение, В*.....от 4 до 40

Выходной средний стабилизированный регулируемый ток, А*.....от 1 до 30

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Виды выходного напряжения.....постоянное и переменное в форме меандра с частотой 20кГц

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....920

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ВОСЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ ДЛЯ

ПОДЖИГА НЕЙТРАЛИЗАТОРА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 10 до 200

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 30 до 300

Выходной средний ток, стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,03 до 6

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Виды выходного напряжения.....постоянное и импульсное с длительностью импульса 90÷120мкс и

   частотой 80÷110Гц

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....230

ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

Интерфейс ручного управления: с передней панели блоков посредством тумблеров, кнопок и осевых регуляторов

Интерфейс внешнего управления: последовательный цифровой «RS-485», оптоизолированный на ±500В,

   с полной погрешностью измерения и преобразования по U до 1,5%, по I до 2,3%, по Р до 3% для 1-го,

   6-го, 7-го канала и по U до 2%, по I до 2,3%, по Р до 4% для остальных каналов и со скоростью обмена

   данными до 57600бит/с

Индикация задаваемых и выходных параметров: светодиодными семисегментными 3,5-разрядными

   индикаторами по два на каждый канал с точностью ±2% и ±3 ед. мл. разряда

Индикация режимов работы: двухцветными светодиодами

Защита от перенапряжений в питающей сети: есть с отключением выходного напряжения при

   превышении на 15% и отключением «по сети» при превышении на 20% 

Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, воздушное принудительное с автоматической регулировкой воздушного потока от температуры модулей конверторов

КПД, не менее.....0,87

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,95

* обеспечиваются в пределах выходных вольтамперных характеристик каналов.

** в диапазоне выходной мощности от 20% до 100% на номинальной резистивной нагрузке.

Система питания и управления "ИВЭ-216S"

высокочастотным ионным

двигателем "ВЧИД-3кВт"

Основная область применения - в составе стендового испытательного вакуумно-технологического оборудования для обеспечения подачи рабочих газов и электропитания разрядных цепей электрореактивного высокочастотного ионного двигателя«ВЧИД-3кВт» («Двигатель»).

Система питания и управления «ИВЭ-216S»(«СПУ») одиннадцатиканальная, имеет в своём составе персональный компьютер («ПК») с управляющей программой, два канала подачи рабочих газов в газоразрядную камеру («ГРК») и «Нейтрализатор», и девять каналов электропитания электродов «Двигателя» с гальванически изолированными выходными высоковольтными и низковольтными цепями:

 

Первый канал питания постоянным напряжением эмиссионного электрода с активной «дугозащитой» и выходными высокопотенциальной положительной и низкопотенциальной отрицательной цепями;

 

Второй канал питания постоянным напряжением «холодного» катода «ГРК» с выходными высокопотенциальными цепями;

 

Третий канал питания переменным высокочастотным напряжением индуктора «ГРК»с выходными высокопотенциальной высокочастотной и низкопотенциальной заземлённой цепями;

 

Четвёртый канал питания постоянным напряжением ускоряющего электрода с активной «дугозащитой»и выходными высокопотенциальной отрицательной и низкопотенциальной положительной цепями;

 

Пятый канал питания импульсным или постоянным напряжением поджигающего электрода «Нейтрализатора»с выходными высокопотенциальной положительной и низкопотенциальной отрицательной цепями;

 

Шестой канал питания постоянным напряжением резистивного нагревателя (нагрева) «Нейтрализатора» с выходными низкопотенциальными цепями;

 

Седьмой канал питания постоянным напряжением электрода («Кипера») поддержания разряда «Нейтрализатора» с выходными низкопотенциальными цепями;

 

Восьмой канал питания постоянным напряжением «смещения» нити накала (эмиттера электронов)с выходными низкопотенциальными цепями;

 

Девятый канал питания постоянным напряжением «нагрева» нити накала (эмиттера электронов)с выходными низкопотенциальными цепями;

«СПУ» осуществляет подачу рабочих газов в «ГРК» и нейтрализатор и запитывает стабилизированным и регулируемым (управляемым) напряжением, током или мощностью вышепоименованных цепей«Двигателя» при его работе с наличием положительного напряжения до 2,5кВ на высокопотенциальных выходных цепях первых двух каналов относительно корпуса.

«СПУ»предназначена для обеспечения работы «Двигателя» в ручном режиме управления от органов управления расположенных на передних панелях блоков питания и регуляторов расхода газов, а также в режиме вешнего управления посредством управляющей программы «VCHID16», как в «ручном», так и в автоматическом управлении с поддержанием ионного тока «Двигателя». Поддержание (стабилизация) ионного тока осуществляется по выбору оператора посредством авторегулирования расхода газа в «ГРК» или мощности ВЧ-разряда в ней.

Блоки питания и регулятор расхода газа в «ГРК» «СПУ» имеют оптоизолированные помехозащищённые последовательные цифровые интерфейсы внешнего управления «RS-485», а регулятор расхода газа в нейтрализатор имеет интерфейс «RS-232» и все они подсоединяются к «ПК» посредством преобразователей интерфейса.

            СОСТАВ СИСТЕМЫ

 

Блок питания эмиссионного электрода «ИВЭ-264VS»  первого канала.....1шт

Блок питания ускоряющего электрода и холодного катода «ИВЭ-132VS» – четвёртого и второго каналов.....1шт

Блок питания поджога нейтрализатора, питания и управления ВЧГ «ИВЭ-073LS» – пятого и третьего каналов.....1шт

Блок поддержания разряда и нагрева нейтрализатора «ИВЭ-060LS» – седьмого и шестого каналов.....1шт

Блок питания потенциала смещения и нагрева нити накала «ИВЭ-030LS» – восьмого и девятого каналов.....1шт

Высокочастотный генератор «ИВЭ-073RF»  – третьего канала.....1шт

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЕРВОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ЭМИССИОННОГО ЭЛЕКТРОДА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,25 до 5

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,2 до 2,5

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 3

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным временем её срабатывания, мкс.....2,5

Максимальный пиковый ток «дугозащиты» регулируемый, А.....от 1,8 до 3,2

Минимальное пороговое напряжение«дугозащиты» регулируемое, В.....от 50 до 250

Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....19

Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....5,9

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ВТОРОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ХОЛОДНОГО КАТОДА "ГРК"

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, кВт*.....от 0,1 до 1

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,1 до 1

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 1,5

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±2,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±3,6

Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,8

Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....1,2

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ТРЕТЬЕГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ПИТАНИЯ ИНДУКТОРА "ГРК"

Выходная средняя эффективная высокочастотная активная мощность, стабилизированная регулируемая, кВт*.....кратковременно (до 30с) от 0,05 до 3 / длительно (с ПВ-100%) от 0,05 до 2

Выходное амплитудное высокочастотное напряжение, стабилизированное регулируемое, кВ*.....от 0,05 до 2

Выходной амплитудный высокочастотный ток,с регулируемым ограничением, А*.....до 40

Частота выходного высокочастотного напряжения, МГц, при Lинд= 4,5÷5,5мкГн.....от 1,2 до 1,4

Выходное постоянное питающее «ВЧГ» напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 200

Нестабильность выходного ВЧ-напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность питающего «ВЧГ» постоянного напряжения, %, не более**.....±1,2

Нестабильность выходной активной ВЧ-мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходных ВЧ-напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита «ВЧГ» от короткого замыкания и обрыва индуктора.....есть

Защита «ВЧГ» от перегрева и выхода из «Е-режима» преобразования.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, кВт.....3,8

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ЧЕТВЁРТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ УСКОРЯЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 25 до 500

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от-50 до -500

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,05 до 1

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±2,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Активная «дугозащита» с определением изменения импеданса нагрузки до 0,4мкс и полным временем её срабатывания, мкс.....2,5

Максимальный пиковый ток «дугозащиты» регулируемый, А.....от 1,8 до 3,2

Минимальное пороговое напряжение«дугозащиты» регулируемое, В.....от 12 до 50

Паразитная энергия «дугогашения», мДж.....2

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....590

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ПЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ПОДЖИГНОГО ЭЛЕКТРОДА НЕЙТРАЛИЗАТОРА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 50 до 1000

Выходное среднее пиковое (амплитудное) напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 50 до 500

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,15 до 3

Нестабильность выходного среднего пикового напряжения, %, не более**.....±2,5

Нестабильность выходного среднего тока, %, не более**.....±3,8

Нестабильность выходной средней мощности, %, не более**.....±4,5

Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±9,5

Частота выходных импульсов напряжения, регулируемая, Гц.....от 10 до 60

Длительность выходных импульсов напряжения, мс.....от 3 до 5

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....1180

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ШЕСТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ НАГРЕВА НЕЙТРАЛИЗАТОРА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 15 до 300

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 1,5 до 15

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1,5 до 30

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита от короткого замыкания и холостого хода на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....353

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ СЕДЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ПОДДЕРЖАНИЯ РАЗРЯДА НЕЙТРАЛИЗАТОРА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 35 до 750

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 50

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1 до 20

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....882

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ВОСЬМОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ПОТЕНЦИАЛА СМЕЩЕНИЯ НИТИ НАКАЛА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 20 до 400

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 5 до 50

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 0,5 до 11

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходных напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита от короткого замыкания на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....471

 

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДЕВЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ НАГРЕВА НИТИ НАКАЛА

Выходная средняя мощность, стабилизированная регулируемая, Вт*.....от 15 до 300

Выходное среднее напряжение, стабилизированное регулируемое, В*.....от 1,2 до 12

Выходной средний ток,стабилизированный регулируемый, А*.....от 1,5 до 30

Нестабильность выходного напряжения, %, не более**.....±1,5

Нестабильность выходного тока, %, не более**.....±1,8

Нестабильность выходной мощности, %, не более**.....±2,5

Уровень пульсаций выходного напряжения, тока и мощности, % не более**.....±3,5

Защита от короткого замыкания и холостого хода на выходе с отключением выходного напряжения.....есть

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....353

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДЕСЯТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА В "ГРК"

Расход (поток) газа, стабилизированный регулируемый, sccm.....от 0,5 до 100

Время изменения расхода газа, мс.....100

Корректировка данных расхода газа в зависимости от его вида.....есть

Наличие отсечного клапана на выходе регулятора расхода газа.....есть

Полная абсолютная погрешность данных расхода газа, %, не более.....±1,0

Нестабильность расхода газа, %, не более.....±0,2

Дрейф «нуля» расхода газа, %/°С, не более**.....±0,02

Напряжение питания, В.....24

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....6

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ОДИННАДЦАТОГО КАНАЛА СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

ДЛЯ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА В НЕЙТРАЛИЗАТОР

Расход (поток) газа, стабилизированный регулируемый, sccm.....от 2 до 100

Время изменения расхода газа, мс.....800

Корректировка данных расхода газа в зависимости от его вида.....есть

Наличие отсечного клапана на выходе регулятора расхода газа.....есть

Полная абсолютная погрешность данных расхода газа, %, не более.....±0,7

Нестабильность расхода газа, %, не более.....±0,2

Дрейф «нуля» расхода газа, %/°С, не более**.....±0,04

Напряжение питания, В/Гц.....220/50

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....100

ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СИСТЕМЫ ПИТАНИЯ

Интерфейс ручного управления.....с передней панели блоков посредством тумблеров, кнопок и осевых регуляторов

Интерфейс внешнего управления.....последовательный цифровой «RS-485», оптоизолированный на ±500В, с полной погрешностью преобразования по U - до 1,5%, по I - до 2,3%, по Р - до 3% и со скоростью обмена данными до 57600бит/с

Индикация задаваемых и выходных параметров.....светодиодными семисегментными 3,5-разрядными

индикаторами по два на каждый канал с точностью ±2% и ±3 ед. мл. разряда

Индикация режимов работы.....двухцветными светодиодами

Защита от перенапряжений в питающей сети.....есть с отключением выходного напряжения при превышении на 15% и отключением «по сети» при превышении на 20% 

Режим работы и охлаждение.....непрерывный – ПВ 100%, воздушное принудительное с автоматической регулировкой воздушного потока от температуры модулей конверторов

КПД, не менее.....0,85

Коэффициент коррекции потребляемой мощности, не менее.....0,95

* обеспечиваются в пределах выходных вольтамперных характеристик каналов.

** в диапазоне выходной мощности от 20% до 100% на номинальной резистивной нагрузке.