© 1990-2020 ООО "ПЛАЗМА-ТЕХ". Сайт создан самостоятельно.

Российская Федерация,г.Москва, Смирновская улица, дом 4, стр.2. 8(495)362-05-81 www.plazmateh.ru

Блок дугозащиты и частотной коммутации

     Блок ключа-коммутатора «ИВЭ-190», блоки дугозащиты и частотной коммутации «ИВЭ-191-01», «ИВЭ-192-02» и «ИВЭ-192-03» предназначены для работы в составе системы электропитания вакуумно-технологического оборудования (ВТО) для обеспечения стабильных и управляемых процессов нанесения функциональных покрытий. 
 
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ 
 
     Блок «ИВЭ-190» используется для изменения формы выходного напряжения источника питания «потенциала смещения», подаваемого на карусель с изделиями в установках «дугового» и магнетронного напыления, а также для питания самого магнетрона формоизмененным напряжением отрицательной полярности. При этом блок оперативно распознает изменение импеданса нагрузки при изменении в ней характера плазменного разряда и производит программное отключение от неё напряжения питания. Применение блока в составе системы электропитания ВТО обеспечивает активное подавление возникающих «микродуг» и предотвращает их перерастание в самостоятельные дуговые разряды и «привязки», что создаёт бездефектный и устойчивый процесс нанесения покрытий 
 
     Блоки «ИВЭ-191-01», «ИВЭ-192-02» и «ИВЭ-192-03» в составе системы электропитания ВТО осуществляет активное снижение пространственной неравновесности плазмы газового разряда и поверхностных зарядов на мишени и деталях, а также частоты возникновения «микродуг» с подавлением уже возникших при низкой передаваемой в них паразитной энергией, что предотвращает их перерастание в самостоятельные дуговые, коронные и поверхностные разряды, тем самым обеспечивая бездефектный и устойчивый процесс нанесения покрытий. 
 
     Технические характеристики блоков «ИВЭ-190-02 (без МВД-143-01)» и «ИВЭ-193» вы можете уточнить по телефону +7 (495) 362-05-81 или отправив запрос по e-mail: ivep@mail.ru, info@plazmateh.ru. 
 
                                               БЛОК КЛЮЧА-КОММУТАТОРА «ИВЭ-190» 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 
 

 

 

 

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
 

Коммутируемая мощность (пиковая), Вт.....23000

Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-1350

Максимальный коммутируемый (пиковый) ток, А.....17

Максимальный средний ток в режиме дугогашения, А.....16

Максимальный средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой скважностью на максимальной частоте, А.....12

Максимальный средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью на максимальной частоте, А.....8

Диапазон регулировки частоты, кГц.....2÷40

Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с регулируемой скважностью, мкс.....3÷8

Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2

Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги», мДж.....44

Потребляемая электрическая мощность, Вт.....35

КПД, не менее.....0,98

Масса блока, кг.....4

Габаритные размеры блока, мм.....380 х 135 х 140

Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-62 Гц

 


                              БЛОК ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-191-01» 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 
            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-750

Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....45

Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....60

Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....44

Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....44(26,5)//40(21)

Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью на частоте £10кГц(20кГц), А.....44(26,5)//22(13)

Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20

Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с регулируемой скважностью, мкс.....4÷12

Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2

Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги», мДж.....20

Выходное напряжение вольтдобавки («поджига»), В.....1200¸1300

Ток вольтдобавки, мА.....20¸40

Входное напряжение включения вольтдобавки, В.....120¸180

Потребляемая электрическая мощность, не более, Вт.....90

КПД, не менее.....0,98

Масса блока, кг.....9

Габаритные размеры блока, мм.....377 х 270 х 135

Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц

 

 
                                БЛОК ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-192-02» 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 
 

 

 

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 
 

Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-750

Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....90

Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....120

Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....88

Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....88(53)//79(42)

Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью на частоте £10кГц(20кГц), А.....88(53)//44(26)

Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20

Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с регулируемой скважностью, мкс.....4÷12

Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....2

Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги», мДж.....40

Выходное напряжение «поджига», В.....1250

КПД, не менее.....0,98

Масса блока, кг.....13

Габаритные размеры блока, мм.....392 х 143 х 380

Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц

 


                                       БЛОК ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-192-03» 
 
            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ 

 

Входное напряжение, В, в диапазоне.....-50÷-1350

Коммутируемая пиковая мощность (в режиме КЗ нагрузки), кВА.....92

Максимальный пиковый коммутируемый ток (в режиме «КЗ» нагрузки), А.....68

Максимальный пиковый и средний ток в режиме дугогашения, А.....60

Максимальный пиковый //средний ток в режиме частотной коммутации с регулируемой скважностью на частоте £20кГц(40кГц), А.....60(40)//48(32)

Максимальный пиковый//средний ток в режиме частотной коммутации с постоянной скважностью на частоте £10кГц(20кГц), А.....60(40)//30(20)

Диапазон регулировки частоты, кГц.....0; 4¸40; 2¸20

Диапазон регулировки нулевого состояния разомкнутого ключа в частотном режиме с регулируемой скважностью, мкс.....4÷12

Максимальное время отключения при появлении «микродуги», мкс.....3

Максимальная энергия, передаваемая в нагрузку за время отключения при появлении «микродуги», мДж.....40

Напряжение гальванической развязки между цепями управления и корпусом, выходными и питающими цепями, В.....1000

Потребляемая от сети электрическая мощность, не более, Вт.....90

КПД, не менее.....0,98

Масса блока, кг.....13

Габаритные размеры блока, мм.....392 х 143 х 380

Электропитание.....220В ± 15%10%, 48-63 Гц

ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ БИПОЛЯРНЫЙ БЛОКЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ И ДУГОЗАЩИТЫ «ИВЭ-299ID»

     Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе систем импульсного питания вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов очистки и нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Высоковольтный биполярный блок частотной коммутации и дугозащиты «ИВЭ-299ID» двухканальный, имеющий гальванически изолированные выходы с отрицательной полярностью выходных напряжений, допускающий их «переполюсовку». Блок предназначен для преобразования двух постоянных напряжений и токов в импульсные и питания ими высокомощных импульсных однополярных или дуальных магнетронов распыления («HIPIMS»), а также подачи потенциала смещения на обрабатываемые изделия при их очистке и напылении. Блок имеет параллельный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления совместимый для совместного использования в комплекте с системами «ИВЭ-178-10VIDCS» и блоком силовой высоковольтной коммутации режимов «HIPIMS» - «ИВЭ-239К»

Высоковольтный биполярный блокчастотной коммутации и дугозащиты «ИВЭ-299ID»
Высоковольтный биполярный блокчастотной коммутации и дугозащиты «ИВЭ-299ID»

            ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

 

Передоваемая в нагрузку средняя мощность по каналу №1 при частоте коммутации 1кГц и импульсном

   токе 900А, кВт.....до 12

Передоваемая в нагрузку средняя мощность по каналу №2 при частоте коммутации 1кГц и импульсном

   токе 450А, кВт.....до 6

Входное и выходное напряжение по обоим каналам, В.....до -1800

Выходной импульсный ток по каналу №1, А.....до 900

Выходной импульсный ток по каналу №2, А.....до 450

Частота коммутации от внешнего генератора, кГц.....до 40

Длительность выходных импульсов напряжения и тока*, мкс...4÷514

Длительность паузы в «дуальном режиме» между окончанием выходного  импульса напряжения и 

   тока первой системы и началом импульса второй системы*, мкс.....-12÷+110

Длительность паузы между выходными импульсами напряжения и тока*, мкс.....20÷4115

Максимальный пиковый ток дугозащиты по каналу №1, А.....до 900

Максимальный пиковый ток дугозащиты по каналу №2, А.....до 450

Максимальное напряжение дугозащиты, В.....до 383

Полное время срабатывания «дугозащиты», не более, мкс.....3

Паразитная энергия «дугогашения» по каналу №1, не более, Дж.....2,4

Паразитная энергия «дугогашения» по каналу №2, не более, Дж.....1,2

Суммарное выходное напряжение в «дуальном режиме», В.....до 2400

Интерфейс внешнего управления: параллельный аналого-цифровой оптоизолированный ±2500В

КПД, не менее.....0,95

Потребляемая от сети электрическая мощность, не более, Вт.....200

Режим работы и охлаждение: непрерывный – ПВ 100%, принудительное воздушное

* - При работе от внешнего генератора

БЛОКИ ДУГОЗАЩИТЫ И ЧАСТОТНОЙ КОММУТАЦИИ «ИВЭ-492-01» и «ИВЭ-492-02»

          Основная область применения источника вторичного электропитания - в составе систем импульсного питания вакуумно-технологического оборудования для обеспечения стабильных и управляемых процессов очистки и нанесения функциональных покрытий, в особенности диэлектрических и нанокомпозитных. Блоки имеют параллельный аналого-цифровой интерфейс внешнего управления, совместимый для совместного использования в комплекте системы «ИВЭ-477PS». Функциональное назначение «ИВЭ-492-01» и «ИВЭ-192-02» состоит в преобразовании постоянных выходных напряжений блоков «ИВЭ-476» и «ИВЭ-477S» в знакопеременное пульсирующее, подаваемое на нагрузку системы с обеспечением быстродействующего её обесточивания, то есть «дугозащиты».

Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-01"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-01"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-02"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-02"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-01"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-01"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-02"
Блок дугозащиты и частотной коммутации "ИВЭ-492-02"

            Функцию быстродействующего электронного размыкателя выполняют установленные в каждом блоке модули ключа-коммутатора, соединённые последовательно и имеющие принудительное воздушное охлаждение. Модули ключа-коммутатора собраны с использованием быстродействующих высоковольтных MOSFET-транзисторов и импульсных трансформаторов, обеспечивающих требуемую помехозащищённость и изолирующую способность. В середине блока между модулями ключа-коммутатора размещён модуль управления, отвечающий за защитное выключении модулей ключа-коммутатора по превышению максимального импульсного тока, за их термозащиту и за адаптивное управление подачи охлаждающего воздуха в блоке дугозащиты. В блоке на кроссплате установлен датчик пикового выходного тока, сигнал от которого поступает на модуль управления блока питания потенциала смещения для обеспечения функции «дугозащиты по превышению тока» и высоковольтный делитель выходного напряжения, сигнал от которого поступает через разъём в блок питания потенциала смещения на модуль управления, для обеспечения функции «дугозащиты по понижению напряжения». На ней же установлены модуль сервисного питания на +5В и разъёмы «SLOT» для подключения к ним модулей ключа-коммутатора. На основании блока установлен модульный источник второго сервисного напряжения на +12В. Разъёмы управления блоком, входные и выходные расположены на задней панели. На ней так же установлена и клемма заземления. Блок «ИВЭ-492-01» формирует отрицательную составляющую выходного напряжения системы и может выдавать в нагрузку импульсное напряжение (ток) с частотой и длительностью импульсов выработанными задающим генератором блока питания потенциала смещения. Блок «ИВЭ-492-02» формирует положительные импульсы выходного напряжения с частотой и длительностью также выработанными задающим генератором блока питания потенциала смещения, но в противофазе с отрицательными импульсами. Активная длительность отрицательных и положительных импульсов 3÷16мкс при форме тока (напряжения) близкой к прямоугольной. Величина пиковых напряжений определяется напряжением стабилизации в модуле управления блока питания потенциала смещения на выходе модулей конвертора в блоке силовом и модулей конвертора блоке питания потенциала смещения. Величина пикового выходного тока не более 8А.